Bioeconomia: Diversidade e Riqueza para o Desenvolvimento Sustentável
21 a 25 de outubro de 2019
Trabalho 11156
| ISSN | 2237-9045 |
|---|---|
| Instituição | Universidade Federal de Viçosa |
| Nível | Graduação |
| Modalidade | Pesquisa |
| Área de conhecimento | Ciências Exatas e Tecnológicas |
| Área temática | Ciências Exatas e da Terra |
| Setor | Departamento de Física |
| Bolsa | FUNARBIC/FUNARBE |
| Conclusão de bolsa | Sim |
| Apoio financeiro | FUNARBE |
| Primeiro autor | Rafael Filgueira Pimentel |
| Orientador | SERGIO LUIS DE ABREU MELLO |
| Título | Estudo experimental da superfície de substratos utilizados em microfabricação |
| Resumo | Este projeto de iniciação científica teve originalmente dois objetivos: o primeiro, estudar a físicoquímica das reações que ocorrem na superfície de substratos utilizados em microfabricação; e, o segundo, instalar e calibrar dois equipamentos da sala limpa do Departamento de Física da Universidade Federal de Viçosa (UFV): Plasma Cleaner e Vapor Prime. Contudo, devido a reformas na sala limpa, que ocorreram durante a execução do projeto, foi necessário adaptarmos as atividades laboratoriais do projeto. Deste modo, o estudo que será apresentado neste trabalho é sobre: formação de nanoestruturas induzidas por feixes de íons sobre superfícies semicondutoras. O bombardeio de superfície com feixe de íons de baixa energia pode levar à erosão de material, ou seja, ocorrer remoção de átomos da superfície devido ao impacto entre íons ou átomos energéticos e a dada superfície. O processo de bombardeio ou irradiação que gera erosão na superfície, é conhecido como "sputtering", e é parte inerente de numerosas técnicas de processamento de superfícies como limpeza, corrosão e polimento. Tais irradiações podem ser acompanhadas por mudanças na morfologia do material como por exemplo em sua topografia, que sob certas condições, a erosão da superfície pode resultar no surgimento de nanoestruturas auto-organizadas bem ordenadas, ou surgimento de padrões de ondulação (do inglês "ripples", como é mais amplamente conhecido na literatura) bem definidos. Algumas aplicações tecnológicas surgem de imediato derivados desse estudo, principalmente na área de nanotecnologia, por exemplo, "nanodots" e matrizes de pontos quânticos. Neste trabalho, estudaremos a formação de nanoestruturas sobre substratos de Si e CdTe (composto binário) bombardeados por feixes de íons gerados por um "ion milling". As nanoestruturas são formadas pela competição de inúmeros processos físicos que ocorrem durante a irradiação dos substratos. Os processos principais são: sputtering e a difusão de átomos da superfície (estes ganham energia devido à interação com os íons incidentes). |
| Palavras-chave | nanoestruturas, sputtering, feixe de íons. |
| Forma de apresentação..... | Oral |