Sala Limpa - DPF

Centro
CCE
Departamento
DPF
Nome
Sala Limpa - DPF
Sobre
Laboratório de micro e nanofabricações (LaMiNas), composto por uma sala limpa com ambiente controlado classe 1000, que dispõe de toda estrutura necessária para micro e nanofabricação de dispositivos como capela com spinner, chapa quente e ultra som para realização da deposição de polímero foto e eletroseníivel, vapor prime e plasma de oxigênio para limpeza de substratos, sistemas de nanolitografia por feixe de elétrons e microlitografia a laser para realização de máscaras para circuitos e finalmente alinhadora de máscaras para dispositivos com diversos níveis de estruturas. O laboratório conta ainda com bancada eletroquímica para crescimento de estruturas e íon milling para desbaste físico controlado.
Utiliza Produtos Químicos Controlados
Sim
Coordenador/Responsável pelo Laboratório
Nome: CLODOALDO IRINEU LEVARTOSKI DE ARAUJO
Email: dearaujo@ufv.br
Campus: Viçosa
Endereço
Departamento de Física - UFV - Prédio do CCE, sala 116
Localização
(-20.763016080000000, -42.867536540000000) Clique aqui para visualizar no google maps
Telefone
(31) 3612-6051
E-mail
sukarno@ufv.br
Palavras-chave
nanolitografia, microlitografia
Keywords
nanolithography, microlithography
Pesquisadores
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